真空闸阀是什么？真空闸阀的优点介绍

随着台湾半导体与各种电子工业产能逐年扩大，以至于制程品质与生产效率成为厂商首要考虑问题。真空阀门是真空制程系统中的核心设备，真空品质也决定了良率问题。本篇文章带大家认识真空闸阀的优缺点，以及了解更多UHV超高真空闸阀的应用。

真空闸阀是什么？

真空闸阀（Vacuum Gate Valve）的工作原理是通过控制连接管路的『闸门』来阻断或接通管路内的介质。真空阀门用于保护真空泵浦，以及作为抽气的分流引导功能。在各类真空自动化生产线上，用于控制气体的流动，实现在管道上控制接通或切断管路的流通精确的工艺控制。业界常见的真空闸阀可分为两种，分别是高真空闸阀（High-Vacuum Gate Valve）与超高真空闸阀（Ultra High-Vacuum Gate Valve）。

真空度差异：

• 高真空闸阀（HV Gate Valve）: 10^-4 mbar ~ 10^-8 mbar
• 超高真空闸阀（UHV Gate Valve）: 10^-9 mbar ~ 10^-12 mbar

基本结构

真空阀门的主要是由三个部件构成，分别是最顶端的『执行器』、『阀体』与『密封闸板』。

• 执行器：阀门的开关可分为手动或气动。气动开关的真空闸阀多数以压缩空气的方式进行控制，有的也会搭配电磁阀来操作。
• 阀体：真空闸阀的材质大多是采用不锈钢、铝合金或等优质金属材料制成，因为金属具有优异的抗腐蚀与耐热性，而且还有高的密封性，能够应付大部分严苛的使用环境，使用寿命得到保障。
• 闸板：密封闸板在关闭状态下，能够有效截断且密封隔绝空气或是制程气体。

真空闸阀的应用有哪些？

1. 安装于真空腔体和真空泵浦之间，达到隔绝真空腔体与保护真空泵浦之功能。
2. 在不同制程真空腔体之间，作为产品运送之用途。
3. 在真空腔体与真空泵浦之间，真空闸阀可提供调节控制压力之功能。

真空闸阀的优点是什么？

• 精密铸造，密封性佳
• 重量轻，易于安装
• 流体阻力小，流向也不受限制
• 应用范围广泛，多种介质气体都能适用

超高真空闸阀推荐

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产品特色：

• 拥有多样位置显示选择
• 采用磁簧开关感应的方式做开关讯号传输，或是选用机械式的微动开关做为讯号传输
• 阀体有分 不锈钢 与 铝合金, 铝合金可作硬化的阳极处理
• 闸门两侧采用特殊球窝型式设计，防止沉积物堆积，密封度得到保障
• 可另外加增目视位置机构, 可以直觉式的确认阀门位置是否正确

结论

安徕是一家真空阀门研发与制造商，已协助多种产业建置高品质真空系统。我们最先进的设备可确保高精度轨道焊接、泄漏检查和包装。我们所有的制造工艺均符合SEMI标准，并且我们也为半导体OEM工具制造商提供所有气体管线焊件。凭借在真空领域无与伦比的专业知识，提供全面的一站式解决方案，以满足每位客户的独特需求。若您对真空闸阀或其他真空零配件有任何疑惑，欢迎联络我们！