闸阀
安徕公司的闸阀(Gate valve)可以根据真空压力范围区分为:低真空闸阀、中真空闸阀、高真空闸阀、超高真空闸阀,且可以依配置优质的驱动执行器在功能区上分为 : 气动闸阀、手动闸阀。
安徕公司的闸阀(Gate valve)在关闭时,闸阀的密封面可以挑选不同材质的真空氟橡胶圈来密封,以对抗有高腐蚀性的气体,并产生不同真空度等级的闸阀。
VG01P/VG01M
特殊的关节式连动驱动结构设计,搭配焊接式的密封波纹管可提供可靠的密封,凭借其坚固、免润滑的设计以及能够烘烤温度高达250°C,可满足工业和半导体及研究应用的超高真空要求。 闸板密封运行时不会产生任何摩擦,独有的机械锁定机构设计,当断开气体时阀门会锁定在关闭位置。
VG03P/VG03M
真空闸阀的内部特殊闸阀密封板与升降阀杆一起直线移动,可避免任何微小粉尘产生,即使在极端的严苛制程条件和高腐蚀性制程环境下,也具有绝对的可靠性和耐用性和真空密封性。 阀门的密封组件,可采用全氟橡胶密封圈或金属密封垫圈来密封的。 真空阀门的主要功能是在真空系统中,用来改变气流方向、切断或接通管路的真空系统组件。
VGA1P
铝闸阀本体的材质选用6XXX系列铝合金,是一种析出硬化型的铝合金,是以镁和硅作为其主要的合金元素,具有好的机械性质,适用在各种制程条件下且可安装在数千个要求严格的应用中,证明了其卓越的可靠性。 凭借其模组化设计,制程工艺中会产品过高的粉尘,可能会导致阀门故障以及由于沉积物的形成,如果过多容易导致维护成本过高。 但安徕的铝闸阀采用特殊球窝型式设计,可以防止这种情况发生且可透过闸门两侧的球窝型式闸门板,更可确保增加真空的密封度。