方形传输阀

VD01P
大气传输门阀（Door valve），可以传输200mm（8 inch）、300（12 inch） and 450mm（18 inch）晶圆片。 用来当作连接真空承载腔体与大气端的隔离阀使用。
凭借坚固的设计和直接方便的安装，当阀板与后座推动的活塞组，采用其分离式方式，使阀门水平运行至关闭位置的时候，可大大减少震动并易于保养维护，特殊多活塞组的技术机构（无需任何润滑剂）可最大限度地减少当阀门快速移动的时候，闸板接触设备的阀口处，可能会造成的机械冲击。
大部分闸阀是采用强制封闭的，即闸阀关闭时，要依靠外力强制将闸阀压向阀座，以确保突面的密封性。 但特殊多活塞组的技术机构特点：设计紧凑、振动小、启闭平稳，避免过程中产生颗粒。