半导体产业
半导体产业是当今最具战略价值的核心产业。无论是智能手机、汽车电子,还是医疗设备,几乎所有现代电子产品都依赖于半导体技术的发展。
半导体是一种电导率介于导体(如铜)与绝缘体(如玻璃)之间的材料。为了精准控制其电学特性,半导体制造必须在高度洁净的真空环境中进行。
由于制造流程复杂、供应链庞大,半导体产业通常被划分为上游(材料与设计)、中游(晶圆制造)、下游(封装与测试)。其中,真空技术主要应用在中游的晶圆代工阶段,并在关键制程中扮演不可或缺的角色。
在晶圆制造过程中,真空组件广泛用于以下主要设备与工艺中,例如:
薄膜沉积(Thin Film Deposition)
干法刻蚀(Dry Etching)
扩散(Diffusion)
离子注入(Ion Implantation)
……等关键制程。
这些系统对真空密封性、洁净度与稳定性要求极高,只有高质量的真空元件,才能确保工艺稳定、良率提升。
★适用产品:(可点击链接到产品介绍页签)
| 角阀(Angle Valve) | 闸阀(Gate Valve) | 门阀(Door Valve) | 方形阀(Rectangular Valve) |
| 传输阀(Transfer Valve) | 刀口法兰(CF Flange) | 真空管件(Vacuum fitting) | 真空焊接管(Vacuum weldment) |
| 真空零件加工(Vacum component) |
延伸閱讀:真空閥件在半導體產業的應用