显示器产业
显示器产业涵盖 TFT-LCD、OLED、触控面板与柔性显示器,其制造过程高度依赖 真空工艺技术,以实现高分辨率、高对比度和超薄化面板,广泛应用于手机、电视、车载系统和工业显示设备。
在制造过程中,真空系统被广泛用于:
薄膜沉积(如 ITO、非晶硅、金属层)
TFT 阵列的干法刻蚀与图案处理
OLED 面板的真空封装与保护层蒸镀
为确保生产良率与稳定性,TCT 精密真空阀门广泛部署于各类核心制程设备与真空模块之中。
TCT 阀门在显示器设备中的应用:
| 阀门类型 | 制程应用阶段 | 功能说明 |
|---|---|---|
| 角阀 (Angle Valves) | 过渡腔 (Load Lock)、传输腔室 | 真空隔离、排气控制、高循环寿命 |
| 闸阀 (Gate Valves) | PECVD、溅镀 (Sputtering)、蒸镀系统 | 高通量密封、快速启闭 |
| 直通阀 (Inline Valves) | 刻蚀与图案化制程 | 紧凑安装、可靠的气体与真空流路控制 |
| 焊接组件 (Custom Weldments) | 真空歧管、气体管路 | 无死角焊接流道、防止污染、确保洁净度 |
★适用产品:(可点击链接到产品介绍页签)
| 角阀(Angle Valve) | 闸阀(Gate Valve) | 门阀(Door Valve) | 方形阀(Rectangular Valve) |
| 传输阀(Transfer Valve) | 真空管件(Vacuum fitting) | 真空焊接管(Vacuum weldment) | 真空零件加工(Vacuum component) |