显示器产业

显示器产业涵盖 TFT-LCD、OLED、触控面板与柔性显示器,其制造过程高度依赖 真空工艺技术,以实现高分辨率、高对比度和超薄化面板,广泛应用于手机、电视、车载系统和工业显示设备。

 

在制造过程中,真空系统被广泛用于:

  • 薄膜沉积(如 ITO、非晶硅、金属层)

  • TFT 阵列的干法刻蚀与图案处理

  • OLED 面板的真空封装与保护层蒸镀

为确保生产良率与稳定性,TCT 精密真空阀门广泛部署于各类核心制程设备与真空模块之中。

 

TCT 阀门在显示器设备中的应用:

 

阀门类型制程应用阶段功能说明
角阀 (Angle Valves)过渡腔 (Load Lock)、传输腔室真空隔离、排气控制、高循环寿命
闸阀 (Gate Valves)PECVD、溅镀 (Sputtering)、蒸镀系统高通量密封、快速启闭
直通阀 (Inline Valves)刻蚀与图案化制程紧凑安装、可靠的气体与真空流路控制
焊接组件 (Custom Weldments)真空歧管、气体管路无死角焊接流道、防止污染、确保洁净度

 

适用产品:(可点击链接到产品介绍页签)

 

 

 

TOP