真空阀门

安徕公司的角阀（Angle Valve）为自主开发、制造，并创立自有品牌【TCT】，在外观型式上区分为：直角型 / Y型。 主要应用：初抽/前端制程，且该角阀的开启行程最大可以趋近100% （全开式），非常适用于高气体通量的环境。

真空直角阀又可称为真空挡板阀，主要由阀体、中盖、阀板和执行机构等部分组成。 它也是高真空系统的重要组件，具有可切断或接通气路的功能，它适用于低于至10-8 Torr真空度范围使用。 工作原理是通过控制阀门内的挡板开启与关闭，以控制真空系统中的气体的流动。

TCT在工业化产品设计上，结合实用与美感兼顾的理念，将柔和的线条融合在粗线条的工业产品中。 整体设计不但维持工业产品的耐用度，也将工业产品的设计感提升。TCT全系列阀体采用高洁净不锈钢材制作，外观采用电解抛光处理，耐脏、易清理、防腐蚀也兼具美观。 气压缸采用铝合金材料制作，以特殊的化学清洗处理，不易刮伤、防氧化，以满足角阀在各种产业的应用。

• VP02P/VP02M/VY02P/VY02M 系列 （气动/手动）
  标准式真空角阀/Inline阀
  标准型装配AM350焊接波纹管，角阀的开启行程可以趋近55%，可提供充足的气导，适合于绝大多数的真空

安徕公司的闸阀（Gate valve）可以根据真空压力范围区分为：低真空闸阀、中真空闸阀、高真空闸阀、超高真空闸阀，且可以依配置优质的驱动执行器在功能区上分为 ： 气动闸阀、手动闸阀。
安徕公司的闸阀（Gate valve）在关闭时，闸阀的密封面可以挑选不同材质的真空氟橡胶圈来密封，以对抗有高腐蚀性的气体，并产生不同真空度等级的闸阀。

VG01P/VG01M
特殊的关节式连动驱动结构设计，搭配焊接式的密封波纹管可提供可靠的密封，凭借其坚固、免润滑的设计以及能够烘烤温度高达250°C，可满足工业和半导体及研究应用的超高真空要求。 闸板密封运行时不会产生任何摩擦，独有的机械锁定机构设计，当断开气体时阀门会锁定在关闭位置。

VG03P/VG03M
真空闸阀的内部特殊闸阀密封板与升降阀杆一起直线移动，可避免任何微小粉尘产生，即使在极端的严苛制程条件和高腐蚀性制程环境下，也具有绝对的可靠性和耐用性和真空密封性。 阀门的密封组件，可采用全氟橡胶密封圈或金属密封垫圈来密封的。 真空阀门的主要功能是在真空系统中，用来改变气流方向、切断或接通管路的真空系统组件。

VGA1P
铝闸阀本体的材质选用6XXX系列铝合金，是一种析出硬化型的铝合金，是以镁和硅作为其主要的合金元素，具有好的机械性质，适用在各种制程条件下且可安装在数千个要求严格的应用中，证明了其卓越的可靠性。 凭借其模组化设计，制程工艺中会产品过高的粉尘，可能会导致阀门故障以及由于沉积物的形成，如果过多容易导致维护成本过高。 但安徕的铝闸阀采用特殊球窝型式设计，可以防止这种情况发生且可透过闸门两侧的球窝型式闸门板，更可确保增加真空的密封度。

VR01P
Transfer Valve 用来当作连接真空承载腔体与真空制程腔体或真空传输腔体的隔离阀使用，采用焊接形式波纹管密封，独创自动机械锁附设计至关闭位置，关闭时低振动、低磨损。
闸刀阀（Rectangular Valve）的开口尺寸可以依照客户机台需求采客制化方式制作，以传输不同尺寸的玻璃基板，例如： G5（1100*1200） ， G5.5（1300*1500）  G6（1500*1800） ， G8（2300*2600） ....
闸刀阀采用独有的L-Motion设计，阀板运行时没有任何接触，并降低了颗粒产生的风险，特别适合蚀刻或CVD等腐蚀性制程。 此传输阀运行时通过单轴阀杆的气动执行，实现阀门的L形状态运动。 在这种L形状态运动中，闸门垂直上升并水平移动到关闭位置，而不与阀体发生任何接触，在最后的运动中，阀板被水平推到设备的阀口处，密封组件的全氟橡胶密封圈，同时接受到完整的压力接触到设备的阀口处，这不仅可以避免任何摩擦及其潜在的颗粒生成，还可以最大限度地减少密封组件磨损、磨耗。
闸刀阀又可称为方形阀或传输阀，被广泛应用于镀膜真空设备与光电产业产品，使用寿命最高可达500万次，传输阀的开与关表现会比一般的圆形阀门还要好，因为传输阀在传送产品时不会产生任何震动。

VD01P
大气传输门阀（Door valve），可以传输200mm（8 inch）、300（12 inch） and 450mm（18 inch）晶圆片。 用来当作连接真空承载腔体与大气端的隔离阀使用。
凭借坚固的设计和直接方便的安装，当阀板与后座推动的活塞组，采用其分离式方式，使阀门水平运行至关闭位置的时候，可大大减少震动并易于保养维护，特殊多活塞组的技术机构（无需任何润滑剂）可最大限度地减少当阀门快速移动的时候，闸板接触设备的阀口处，可能会造成的机械冲击。
大部分闸阀是采用强制封闭的，即闸阀关闭时，要依靠外力强制将闸阀压向阀座，以确保突面的密封性。 但特殊多活塞组的技术机构特点：设计紧凑、振动小、启闭平稳，避免过程中产生颗粒。