传输门阀

VR01P
Transfer Valve 用来当作连接真空承载腔体与真空制程腔体或真空传输腔体的隔离阀使用，采用焊接形式波纹管密封，独创自动机械锁附设计至关闭位置，关闭时低振动、低磨损。
闸刀阀（Rectangular Valve）的开口尺寸可以依照客户机台需求采客制化方式制作，以传输不同尺寸的玻璃基板，例如： G5（1100*1200） ， G5.5（1300*1500）  G6（1500*1800） ， G8（2300*2600） ....
闸刀阀采用独有的L-Motion设计，阀板运行时没有任何接触，并降低了颗粒产生的风险，特别适合蚀刻或CVD等腐蚀性制程。 此传输阀运行时通过单轴阀杆的气动执行，实现阀门的L形状态运动。 在这种L形状态运动中，闸门垂直上升并水平移动到关闭位置，而不与阀体发生任何接触，在最后的运动中，阀板被水平推到设备的阀口处，密封组件的全氟橡胶密封圈，同时接受到完整的压力接触到设备的阀口处，这不仅可以避免任何摩擦及其潜在的颗粒生成，还可以最大限度地减少密封组件磨损、磨耗。
闸刀阀又可称为方形阀或传输阀，被广泛应用于镀膜真空设备与光电产业产品，使用寿命最高可达500万次，传输阀的开与关表现会比一般的圆形阀门还要好，因为传输阀在传送产品时不会产生任何震动。