真空法兰类型有哪些？法兰规格要怎么看？
真空法兰是什么？
真空法兰（Vacuum Flange）是用于连接真空管件、阀门与腔室等真空部件，以达到完全密封的真空环境为其主要的作用。不锈钢真空法兰是目前最为常见的材质，因为不锈钢拥有耐高温、耐腐蚀与耐刮等物性优势。尽管在不锈钢材质上有不错的可靠性，但也需要使用者懂得如何挑选真空法兰规格，才能确保您的真空管件系统万无一失。真空系统对于密封性有着极高要求，因为密封失效导致压力回升，就可能酿成无法挽回的意外或损失。
真空法兰的应用有哪些？
真空法兰的构造简单，在真空工业自动化领域的应用范围却十分广泛。举凡需要真空处理的制程，都需要安装真空管件，而以下这些产业就对真空制程有着非常严格的需求。
- 半导体工业：半导体制程中的薄膜沉积与蚀刻等多种制程环节，都需要无污染的真空环境，才能确保良率与品质。
- 医药产业：多种药品需要依靠真空冷冻干燥技术，以维持稳定的化学物性与物质结构，例如疫苗、蛋白制剂等。
- 冶金制造业：有些稀有金属是无法在标准大气压条件底下进行热处理作业，需要依靠真空冶金系统来进行真空烧结、真空熔铸、真空焊接等。
真空法兰的类型有哪些？
目前业界常用的真空法兰规格型号为CF法兰、KF法兰和ISO法兰。一般KF，ISO-K，ISO-F与CF都有针对不同地区使用真空工业规范，而产生不同的内径尺寸差异，而最多用的三种真空工业规范，分别是美规ASTM，德规DN与日规JIS。
CF法兰
CF法兰属于超高真空法兰，所有口径一律采用标准螺丝来做安装，且是全金属材料制成，具有非常优异的密封能力与耐热性。 CF法兰带有专门做金属密封的横切面尖缘的特征，因此也号称刀口法兰。 CF型号后面的数字是代表管件的内径尺寸，以下则是常用的CF法兰规格：
- 尺寸范围：1/2" ~16.5”
- 真空度：最高达10-12 mbar.
- 材质：不锈钢 SUS304 或 SUS316L
- 产品连结：CF 刀口法兰
KF法兰
KF法兰属于真空系统中的快卸法兰，所以也称为QF法兰（Quick Flange）。KF法兰适用于多种真空应用，而且一般与管束、密封圈与中心圈组合使用。采用快速拆卸管束让使用更方便卸安装，只需要手动拧开或拧紧螺母就能快速拆卸与安装。在外观上有特殊斜角来配合管束内的角度，来达成密封的效果。
- 尺寸范围：1/2" ~ 2"
- 真空度：最高达10-8 mbar.
- 材质：不锈钢SUS304 或 铝镁合金6061L
- 产品连结：KF管束 CLAMP
ISO法兰
标准ISO法兰针对两种不同的固定方式，分成ISO-K与ISO-F法兰。两者都是属于大尺寸的真空法兰，只是ISO-K（ISO LF）的法兰边缘是用管夹固定着；而ISO-F（ISO LFB）则是在法兰边缘安装传统的螺栓孔，并以螺栓和螺母固定。 ISO法兰适合应用于需要经常装拆的大尺寸真空管件应用。
- 尺寸范围：2 -1/2"以上（一般市面上只做到标准尺寸到14"，超过这尺寸的口径因为密封圈不易取得，所以都会客制化设计。）
- 真空度：最高达10-8 mbar.
- 材质：不锈钢SUS304 或 铝镁合金6061
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